目前,TFT-LCD制程清洗工艺流程: 上料→喷淋→立式盘刷洗→纯水冲洗→卧式滚刷洗→纯水冲洗→卧式辊刷洗→冷风切水→纯水冲洗→超声波清洗→冷风切水→喷淋→冷风切水→热风干燥。
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